Александров, Владимир Кузьмич <br/><br/>
Шаги к микроразмерам :   Методы микроминиатюризации /  
В. К. Александров ; Под ред. В. А. Пилиповича. 
 - Минск :   Наука и техника,  1983. 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>681.382