TY - BOOK AU - Воробьев, Николай Николаевич TI - Машинное проектирование полупроводниковых приборов и интегральных схем / PY - 1975/// CY - Москва : PB - [Б. и.] KW - ელექტრონული ტექნოლოგიები N1 - (Обзоры по электронной технике . Серия: Полупроводниковые приборы ; Вып. 277 Вып. 2). ER -