Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учебное пособие для приборостроительных специальностей вузов / [А. А. Сазонов [и др.] ; под ред. А. А. Сазонов.
Material type:
TextLanguage: Russian Publication details: Москва: Высшая школа, 1991.Description: 333, [1] с. : ил. ; 21 смISBN: - 5060007316
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
წიგნი
|
ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 1 საცავი. 1 კორპ. | 621.382.049.77-52(075.8) (Browse shelf(Opens below)) | 2R760092 | შესამოწმებელია | 2021-3582664 | ||
|
წიგნი
|
ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 2 კორპ. 2, საცავი | 621.382.049.77-52(075.8) (Browse shelf(Opens below)) | 2K8805 | Available | 2017-293301 |
Библиогр.: с. 332.
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделирования и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.
There are no comments on this title.