National Science Library of Georgia

Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей :

Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы) / [А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин]. - Минск : Изд-во БГУ, 1980. - 350 с. : ил.

Copyright © 2023 Sciencelib.ge All rights reserved.