Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей :
Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы) /
[А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин].
- Минск : Изд-во БГУ, 1980.
- 350 с. : ил.