Чистые помещения /
Чистые помещения /
[Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии и др.]; Под ред. И. Хаякавы; Перевод с яп. В. Ю. Акифьева и др.; Под ред. В. Г. Ржанова, В. И. Ушакова.
- Москва: Мир, 1990.
- 454 с. ил.
Авт. указаны перед вып. дан.
Предм. указ.: с. 451-452
Библиогр.: с. 439-450
5030003630
სუფთა ოთახები მიკროელექტრონიკა ბოჭკოვანი ოპტიკა
Авт. указаны перед вып. дан.
Предм. указ.: с. 451-452
Библиогр.: с. 439-450
5030003630
სუფთა ოთახები მიკროელექტრონიკა ბოჭკოვანი ოპტიკა