Нитрид кремния в электронике /
Нитрид кремния в электронике /
[В. И. Белый, Л. Л. Васильева, и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов.
- Наука, Сиб. отд-ние 1982.
- 200 с. : ил.
В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.)
Имеется электронная копия
2 р. 40 к.
მიკროელექტრონული სქემები სილიკონი ნიტრიდი
В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.)
Имеется электронная копия
2 р. 40 к.
მიკროელექტრონული სქემები სილიკონი ნიტრიდი