ფოტოლიტოგრაფიული პროცესების დამუშავება გალიუმის არსენადის საფუძველზე ნახევარგამტარული ხელსაწყოებისა და ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგიაში :
სახაროვა, ტატიანა.
ფოტოლიტოგრაფიული პროცესების დამუშავება გალიუმის არსენადის საფუძველზე ნახევარგამტარული ხელსაწყოებისა და ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგიაში : ავტორეფ... ტექნ. მეცნ. კანდ. 05.27.01 / ტატიანა სახაროვა ; საქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტი ; [სამეცნ. ხელმძღვანელი: ნინა ხუჭუა]. - თბილისი, 2006. - 34 გვ. : ილ.
ტექსტი ქართულ რუსულ ენებზე
ფოტოლიტოგრაფიული პროცესები ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგია ნახევარგამტარული ხელსაწყოების დამზადების ტექნოლოგია გალიუმის არსენადი ავტორეფერატი
621.383.434(043)
ფოტოლიტოგრაფიული პროცესების დამუშავება გალიუმის არსენადის საფუძველზე ნახევარგამტარული ხელსაწყოებისა და ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგიაში : ავტორეფ... ტექნ. მეცნ. კანდ. 05.27.01 / ტატიანა სახაროვა ; საქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტი ; [სამეცნ. ხელმძღვანელი: ნინა ხუჭუა]. - თბილისი, 2006. - 34 გვ. : ილ.
ტექსტი ქართულ რუსულ ენებზე
ფოტოლიტოგრაფიული პროცესები ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგია ნახევარგამტარული ხელსაწყოების დამზადების ტექნოლოგია გალიუმის არსენადი ავტორეფერატი
621.383.434(043)