Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем /

BIBTEX Dublin Core ISBD MARC (non-Unicode/MARC-8) MARCXML MODS (XML) RIS MARC (Unicode/UTF-8) MARC (Unicode/UTF-8, Standard)

Other Libraries (WorldCat) Other Databases (Google Scholar) Online Stores (Bookfinder.com) CERL Thesaurus author search Author search in ORCID registry Wikipedia author search ავტორის ძიება ეროვნ. ბიბლიოთეკაში (NPLG) VIVO beta search for author საქპატენტი. გამოგონების ძიება ძიება თსუს ბიბლიოთეკებში