Кинетика и механизм термического окисления кремния /
Анохин, Валентин Захарович
Кинетика и механизм термического окисления кремния / В. З. Анохин. - Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1983.
546.28.04
Кинетика и механизм термического окисления кремния / В. З. Анохин. - Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та, 1983.
546.28.04