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Étude et synthèse de résines positives sensibles aux électrons et aux rayons X utilisées dans les procédés de microlithographie /

Serre, Brigitte

Étude et synthèse de résines positives sensibles aux électrons et aux rayons X utilisées dans les procédés de microlithographie / [par] Brigitte Serre. - [Montpellier, 1984].

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