Normal view MARC view ISBD view

Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники /

Мягков, Алексей Тихонович.

Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники / А. Т. Мягков, Е. М. Корсетов. - Энергия, 1979. - 312 с. ил.

Библиогр.: с. 305-310 (122 назв.)

Subjects--Index Terms: ქიმიურ-ტექნოლოგიური აპარატურა მიკროელექტრონიკა

Universal Decimal Class. No.: 621.3.049.77

Place hold
Print
Add to your cart (remove)
Suggest for purchase
Save record
BIBTEX Dublin Core ISBD MARC (non-Unicode/MARC-8) MARCXML MODS (XML) RIS MARC (Unicode/UTF-8) MARC (Unicode/UTF-8, Standard)
More searches

Search for this title in:
Other Libraries (WorldCat) Other Databases (Google Scholar) Online Stores (Bookfinder.com) CERL Thesaurus author search Author search in ORCID registry Wikipedia author search ავტორის ძიება ეროვნ. ბიბლიოთეკაში (NPLG) VIVO beta search for author საქპატენტი. გამოგონების ძიება ძიება თსუს ბიბლიოთეკებში

National Science Library of Georgia

Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники /