Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра.
Material type:
TextLanguage: Russian Publication details: Москва : Радио и связь, 1991.Description: 528 с. : ил. 22 смISBN: - 5256006991
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
საცნობო
|
ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 1 საცავი. 1 კორპ. | 621.382.049.77(035) (Browse shelf(Opens below)) | J-76447 | Not for loan | 2017-3136760 | ||
წიგნი
|
ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 2 კორპ. 2, საცავი | 621.382.049.77(035) (Browse shelf(Opens below)) | 2К8702 | Available | 2017-292202 |
Browsing ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 1 shelves, Shelving location: საცავი. 1 კორპ. Close shelf browser (Hides shelf browser)
| No cover image available | No cover image available | No cover image available | No cover image available | |||||
| 621.382.049.77 Проектирование СБИС : пер. с яп./ | 621.382.049.77.0012 Конструктивно-технологические основы проектирования микросборок / | 621.382.049.77.0012 Конструктивно-технологические основы проектирования микросборок / | 621.382.049.77(035) Технология микроэлектронных устройств : | 621.382.049.77.037.372(035.5) Популярные цифровые микросхемы : | 621.382.049.771.14 Быстродействующие матричные БИС и СБИС. Теория и проектирование / | 621.382.049.772 Адгезионная способность пленок / |
Библиогр.: с. 526.
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
There are no comments on this title.