National Science Library of Georgia

Image from Google Jackets

Технология микроэлектронных устройств : справочник / З. Ю. Готра.

By: Material type: TextTextLanguage: Russian Publication details: Москва : Радио и связь, 1991.Description: 528 с. : ил. 22 смISBN:
  • 5256006991
Subject(s): Summary: Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, элект­ронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектрон­ных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диф­фузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, лито­графии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифициро­ванных рабочих, занимающихся производством МЭУ.
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Holdings
Item type Current library Call number Copy number Status Date due Barcode
საცნობო საცნობო ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 1 საცავი. 1 კორპ. 621.382.049.77(035) (Browse shelf(Opens below)) J-76447 Not for loan 2017-3136760
წიგნი წიგნი ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 2 კორპ. 2, საცავი 621.382.049.77(035) (Browse shelf(Opens below)) 2К8702 Available 2017-292202

Библиогр.: с. 526.

Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, элект­ронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектрон­ных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диф­фузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, лито­графии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифициро­ванных рабочих, занимающихся производством МЭУ.

There are no comments on this title.

to post a comment.
Copyright © 2023 Sciencelib.ge All rights reserved.