ნახევარგამტარული ხელსაწყოს დამზადების ხერხი თინათინ ლაფერაშვილი.
Material type:
TextLanguage: ge ქ. მცხეთა : საქპატენტი, პატენტის გამოქვეყ.თარიღი და ბიულეტენის ნომერი (45): 2013 01 25 #2Description: გამოგონებაზე პატენტის სრული ტექსტი - 17 გვ. ; მუხლები: 1 დამოუკიდებელი; ფიგურა: 14Patent information: 5739, B, 2013-01-25, published, SakpatentiOther title: - = METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION : გამოგონების პატენტი = Patent for invention : (11) GE P 2013 5739 B : (51) H 01 L 21/00 (IPC, 2006)
- H01L21/00
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
პატენტები
|
ეროვნული სამეცნიერო ბიბლიოთეკა 2 კორპ. 2, საცავი | H01L21/00 (Browse shelf(Opens below)) | P 2013 5739 B | Not for loan | 2015-9883 |
- პატენტის სრული აღწერილობისა და ტექსტის მოსანახად ქართულ ენაზე დააწკაპეთ მარჯვენა მხარეს ბმულზე „სხვა ძიებები“ და შემდეგ საქპატენტის შესაბამის ბმულზე.
ხერხი ითვალისწინებს III-V ჯგუფის ნახევარგამტარის ზედაპირის ელექტროქიმიურ გასუფთავებასა და გასუფთავებულ ზედაპირზე III ჯგუფის ლითონის ელექტროქიმიურ დაფენას ერთიან ტექნოლოგიურ პროცესში. მიღებულ ლითონ/ნახევარგამტარის სტრუქტურას თერმულად ამუშავებენ მაღალი სისუფთავის აღმდგენელი ან ინერტული გაზის ატმოსფეროში.
There are no comments on this title.