TY - BOOK AU - Рейсман,Арнольд AU - Роуз,К. TI - Технология толстых и тонких пленок: [Сборник статей] : Пер. с англ. T2 - Наука для техники. Современная радиоэлектроника PY - 1972/// CY - Москва PB - [Мир] KW - მიკროელექტრონიკა KW - მიკროსქემა აფსკური KW - ელექტრო ენერგიის განაწილება N1 - Доп. тит. л.: Thick and thin films for electronic applications ER -