Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей :  (Теория, метод расчета, таблицы) / 
[А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин].  
 - Минск :   Изд-во БГУ,   1980. 
 - 350 с. :   ил. 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>