TY  - BOOK
AU  - Буренков, Александр Федорович
AU  - Комаров, Ф.Ф.
AU  - Кумахов, М.А.
AU  - Темкин, М.М.
TI  - Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей: (Теория, метод расчета, таблицы) 
PY  - 1980///
CY  - Минск : 
PB  - Изд-во БГУ, 
ER  -