Затуловский Л. М.

Электротермические установки для выращивания монокристаллов полупроводниковых материалов / Л. М. Затуловский, Э. Е. Хазанов, Я. А. Полищук. - Энергия, 1973. - 127 с. ил. - Библиотека электротермиста вып. 50 .

Библиогр.: с. 119-125.

В книге рассматриваются вопросы разработки электротермического оборудования для выращивания монокристаллов полупроводников из расплава различными способами. Приводятся результаты анализа технологических требований, методы исследования, примеры расчета и конструирования элементов промышленных установок для данных процессов. Книга предназначена для инженерно-технических работников, занимающихся исследованием, проектированием и эксплуатацией электротермического оборудования для выращивания монокристаллов, а также может быть полезна студентам соответствующих специальностей.

ელექტროთერმული მოწყობილობები მონოკრისტალები ნახევარგამტარული მასალები სახელმძღვანელო

621.315.59