Электротермические установки для выращивания монокристаллов полупроводниковых материалов /
Л. М. Затуловский, Э. Е. Хазанов, Я. А. Полищук.
- Энергия, 1973.
- 127 с. ил.
- Библиотека электротермиста вып. 50 .
Библиогр.: с. 119-125.
В книге рассматриваются вопросы разработки электротермического оборудования для выращивания монокристаллов полупроводников из расплава различными способами. Приводятся результаты анализа технологических требований, методы исследования, примеры расчета и конструирования элементов промышленных установок для данных процессов. Книга предназначена для инженерно-технических работников, занимающихся исследованием, проектированием и эксплуатацией электротермического оборудования для выращивания монокристаллов, а также может быть полезна студентам соответствующих специальностей.