Чистые помещения / 
[Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии и др.]; Под ред. И. Хаякавы; Перевод с яп. В. Ю. Акифьева и др.; Под ред. В. Г. Ржанова, В. И. Ушакова. 
 - Москва:  Мир,  1990. 
 - 454 с.    ил. 
<br/><br/> Авт. указаны перед вып. дан. 
<br/><br/>Предм. указ.: с. 451-452<br/> Библиогр.: с. 439-450 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5030003630 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>სუფთა ოთახები მიკროელექტრონიკა ბოჭკოვანი ოპტიკა 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>