TY  - BOOK
AU  - Хаякава Ития
AU  - Окадзаки Тосихару
AU  -  Фудзии Сюдзи
AU  -  Фудзии Сюдзи
AU  -  Ушаков, В.И.
AU  -  Акифьев, В.Ю.
TI  - Чистые помещения
SN  - 5030003630
PY  - 1990///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - სუფთა ოთახები
KW  - მიკროელექტრონიკა
KW  - ბოჭკოვანი ოპტიკა
N1  - Авт. указаны перед вып. дан;  Предм. указ.: с. 451-452
;  Библиогр.: с. 439-450
ER  -