@book{117460,
	author = {Черняев, Владимир Николаевич. and Васенков, А.А.},
	title = {Технология производства интегральных микросхем :},
	publisher = {Энергия,},
	year = {1977.},
	address = {Москва :},
	note = {Загл. корешка: Технология интегральных микросхем}
}