Черняев, Владимир Николаевич. <br/><br/>
Технология производства интегральных микросхем :  [Учеб. пособие для вузов по специальностям "Конструирование и производство радиоаппаратуры" и "Конструирование и производство электронно-вычислит. аппаратуры"] / 
 Технология интегральных микросхем 
В. Н. Черняев ; Под ред. А. А. Васенкова. 
 -  Энергия,  1977. 
 - 375 с.  ил. 
<br/><br/> Загл. корешка: Технология интегральных микросхем 
<br/><br/>Список лит.: с. 364-366 (53 назв.) Предм. указ.: с. 367-370 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>წარმოების ტექნოლოგია  მიკროელექტრონული სქემები ინტეგრალური სქემები 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>004.31(075.8)