<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<mods xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns="http://www.loc.gov/mods/v3" version="3.1" xsi:schemaLocation="http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-1.xsd">
  <titleInfo>
    <title>Технология производства интегральных микросхем</title>
    <subTitle>[Учеб. пособие для вузов по специальностям "Конструирование и производство радиоаппаратуры" и "Конструирование и производство электронно-вычислит. аппаратуры"]</subTitle>
  </titleInfo>
  <titleInfo type="alternative">
    <title>Технология интегральных микросхем</title>
  </titleInfo>
  <name type="personal">
    <namePart>Черняев, Владимир Николаевич.</namePart>
    <role>
      <roleTerm authority="marcrelator" type="text">creator</roleTerm>
    </role>
  </name>
  <name type="personal">
    <namePart>Васенков, А.А.</namePart>
    <role>
      <roleTerm type="text">რედაქტორი</roleTerm>
    </role>
  </name>
  <typeOfResource>text</typeOfResource>
  <originInfo>
    <place>
      <placeTerm type="code" authority="marccountry">ru</placeTerm>
    </place>
    <place>
      <placeTerm type="text">Москва</placeTerm>
    </place>
    <publisher>Энергия</publisher>
    <dateIssued>1977</dateIssued>
    <issuance>monographic</issuance>
  </originInfo>
  <language>
    <languageTerm authority="iso639-2b" type="code">rus</languageTerm>
  </language>
  <physicalDescription>
    <form authority="marcform">print</form>
    <extent>375 с. ил.</extent>
  </physicalDescription>
  <note type="statement of responsibility">В. Н. Черняев ; Под ред. А. А. Васенкова.</note>
  <note>Загл. корешка: Технология интегральных микросхем</note>
  <note>Список лит.: с. 364-366 (53 назв.)</note>
  <note>Предм. указ.: с. 367-370</note>
  <subject>
    <topic>წარმოების ტექნოლოგია </topic>
  </subject>
  <subject>
    <topic>მიკროელექტრონული სქემები</topic>
  </subject>
  <subject>
    <topic>ინტეგრალური სქემები</topic>
  </subject>
  <classification authority="udc">004.31(075.8)  </classification>
  <classification authority="rubbk">з844.15-06я73-1</classification>
  <recordInfo>
    <recordContentSource authority="marcorg">RuMoRGB</recordContentSource>
    <recordCreationDate encoding="marc">110520</recordCreationDate>
    <recordChangeDate encoding="iso8601">20180530155018.0</recordChangeDate>
    <recordIdentifier source="ELAR">007662689</recordIdentifier>
    <languageOfCataloging>
      <languageTerm authority="iso639-2b" type="code">rus</languageTerm>
    </languageOfCataloging>
  </recordInfo>
</mods>
