TY  - BOOK
AU  - Черняев,Владимир Николаевич
AU  - Васенков,А.А.
TI  - Технология производства интегральных микросхем: [Учеб. пособие для вузов по специальностям "Конструирование и производство радиоаппаратуры" и "Конструирование и производство электронно-вычислит. аппаратуры"] 
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - წარმოების ტექნოლოგია
KW  - მიკროელექტრონული სქემები
KW  - ინტეგრალური სქემები
N1  - Загл. корешка: Технология интегральных микросхем; Список лит.: с. 364-366 (53 назв.); Предм. указ.: с. 367-370
ER  -