Травление полупроводников :  [Сборник статей] / 
Пер. с англ. С. Н. Горина. 
 -  Мир,  1965. 
 - 382 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр., сост. С. Н. Горин, с. 338-362 (392 назв.), и библиогр. в конце статей 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>ნახევარგამტარები ნახევარგამტარების გრავირება 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.315.5