01151nam a22002772i 4500 0 0 udc 0 0 teq teq techsacavi 2017-03-02 0 621.315.5 2017-17615 2017-03-02 00:00:00 ს-4837 2017-03-02 BK 118165 118164 008455691 ELAR 20180720151014.0 160210s1965 ru ||||| |||||||| ||rus d (RuMoELAR)lacunas1917-79-171941 RuMoRGB rus ELAR rcr rus eng ru 621.315.5 Травление полупроводников : [Сборник статей] / Пер. с англ. С. Н. Горина. Москва : Мир, 1965. 382 с. ил. Библиогр., сост. С. Н. Горин, с. 338-362 (392 назв.), и библиогр. в конце статей ნახევარგამტარები ნახევარგამტარების გრავირება Горин, С. Н. მთარგმნელი 60763 udc BK