TY  - BOOK
AU  - Горин, С. Н. 
TI  - Травление полупроводников: [Сборник статей] 
PY  - 1965///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - ნახევარგამტარები
KW  - ნახევარგამტარების გრავირება
N1  - Библиогр., сост. С. Н. Горин, с. 338-362 (392 назв.), и библиогр. в конце статей
ER  -