@book{133284,
	author = {Бочкин О. И. and Брук В. А.},
	title = {Механическая обработка полупроводниковых материалов :},
	publisher = {Высшая школа,},
	year = {1977.},
	address = {Москва :},
	edition = {Изд. 2-е; }
}