Осаждение из газовой фазы / Под ред. К. Пауэлла [и др.] ; Сокращ. пер. с англ. М. И. Юрченко. - Атомиздат, 1970. - 472 с. Subjects--Index Terms: დანალექი მასალები გაზის ფაზა Universal Decimal Class. No.: 66.065