@book{160031,
	author = {Белый, В. И.},
	title = {Нитрид кремния в электронике /},
	publisher = {Наука, Сиб. отд-ние},
	year = {1982.},
	address = {Новосибирск :},
	note = {В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии},
	url = {http://dlib.rsl.ru/rsl01001000000/rsl01001082000/rsl01001082955/rsl01001082955.pdf}
}