Нитрид кремния в электронике / 
[В. И. Белый, Л. Л. Васильева,  и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов. 
 -  Наука, Сиб. отд-ние  1982. 
 - 200 с. :  ил. 
<br/><br/> В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии  Авт. указаны на обороте тит. л. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.) 
<br/><br/><br/>Имеется электронная копия 
<br/><br/><label>ISBN: </label> 2 р. 40 к. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>მიკროელექტრონული  სქემები  სილიკონი ნიტრიდი 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>