01673nam a2200373 i 4500 001082955 RuMoRGB 20230410100850.0 020227s1982 ru || u ||rus d 2 р. 40 к. (RuMoRKP)ru82-23711 RKP rus PSBO rus 24.3 rueskl Нитрид кремния в электронике / [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов. Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние 1982. 200 с. : ил. В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии Авт. указаны на обороте тит. л. Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.) Имеется электронная копия მიკროელექტრონული სქემები სილიკონი ნიტრიდი Белый, В. И. 264678 Васильева, Л. Л. 264679 Ржанов, А. В. რედაქტორი 231151 application/pdf http://dlib.rsl.ru/rsl01001000000/rsl01001082000/rsl01001082955/rsl01001082955.pdf udc BK 0 0 udc 0 0 teq teq techsacavi 2017-10-31 0 2017-308357 2017-10-31 00:00:00 ს-11824 2017-10-31 BK 0 4 udc 0 0 CPL CPL GEN 2023-02-27 0 2023-564997252 2023-02-27 00:00:00 2R609725 2023-02-27 BK 0 4 udc 0 0 CPL CPL GEN 2023-02-27 0 2023-564997254 2023-02-27 00:00:00 2R597496 2023-02-27 BK 160031 160029