Белый, В. И. Васильева, Л. Л. Ржанов, А. В. რედაქტორი text ru Новосибирск Наука, Сиб. отд-ние 1982 monographic rus application/pdf 200 с. : ил. [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов. В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии Авт. указаны на обороте тит. л. Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.) Имеется электронная копия მიკროელექტრონული სქემები სილიკონი ნიტრიდი 24.3 http://dlib.rsl.ru/rsl01001000000/rsl01001082000/rsl01001082955/rsl01001082955.pdf http://dlib.rsl.ru/rsl01001000000/rsl01001082000/rsl01001082955/rsl01001082955.pdf RKP 020227 20230410100850.0 001082955 rus