TY  - BOOK
AU  - Белый,В.И.
AU  - Васильева,Л.Л.
AU  - Ржанов,А.В.
TI  - Нитрид кремния в электронике
PY  - 1982///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука, Сиб. отд-ние
KW  - მიკროელექტრონული  სქემები
KW  - სილიკონი
KW  - ნიტრიდი
N1  - В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии; Авт. указаны на обороте тит. л; Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.); Имеется электронная копия
UR  - http://dlib.rsl.ru/rsl01001000000/rsl01001082000/rsl01001082955/rsl01001082955.pdf
ER  -