Auth, Joachim <br/><br/>
Fortschritte der Halbleitermeßtechnik ind die Mikroelektronik / 
Joachim Auth. 
 -  Akademie-Verlag,   1990. 
 - 20 S. ;   22 cm. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>ელექტრონიკა მიკროელექტრონიკა 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38