TY  - BOOK
AU  - Auth, Joachim
TI  - Fortschritte der Halbleitermeßtechnik ind die Mikroelektronik
PY  - 1990///
CY  - Berlin : 
PB  - Akademie-Verlag, 
KW  - ელექტრონიკა
KW  - მიკროელექტრონიკა
ER  -