Основы технологии кремниевых интегралъных схем. Т.1 :   Окисление, Диффузия, Эпитаксия / 
Под.ред. : Р.Бургера и Р.Донована ; пер.с английского В. Н.Мордковича. 
 - Москва :   Мир,  1969. 
 - 451 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>რადიოაპარატურის დეტალები  რადიოკავშირის მეთოდები 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.396.01