TY  - BOOK
AU  - Бургер, Р. 
TI  - Основы технологии кремниевых интегралъных схем. Т.1 : : Окисление, Диффузия, Эпитаксия 
PY  - 1969///
CY  - Москва : 
PB  - Мир
KW  - რადიოაპარატურის დეტალები
KW  - რადიოკავშირის მეთოდები
ER  -