TY  - BOOK
AU  - Bergqvist, Johan
TI  - Modelling and micromachining of capacitive microphones
PY  - 1994///
CY  - Uppsala : 
PB  - Univ., 
KW  - ელექტროტექნიკა
KW  - მიკროფონები
N1  - Vollst. zugl.: Uppsala, Univ., Diss., 1994; Includes bibliogr. references
ER  -