Аппаратура для дифузии и эпитаксии : (По материалам отечественной и зарубежной печати за 1969-1972 гг.) : Обзоры по электронной технике /
В. М. Гришин ; В. В. Каминский ; Ф. А. Курмаев ; А. И. Одиноков ; Ю. Д. Чистяков ; В. В. Шведов ; [Ред. : Е. С. Корякина].
- Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975.
- 43 c.
- Полупроводниковые приборы .