TY  - BOOK
AU  - Гришин, В. М. 
AU  - Корякин, Е. С.
TI  - Аппаратура для дифузии и эпитаксии: (По материалам отечественной и зарубежной печати за 1969-1972 гг.) : Обзоры по электронной технике  / 
T2  -  Полупроводниковые приборы 
PY  - 1975///
CY  - Москва : 
PB  - ЦНИИ "Электроника", 
KW  - დიფუზია მყარ სხეულებზე
ER  -