ნახევარგამტარული ხელსაწყოს დამზადების ხერხი
= METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION : გამოგონების პატენტი = Patent for invention : (11) GE P 2013 5739 B : (51) H 01 L 21/00 (IPC, 2006) /
თინათინ ლაფერაშვილი.
- ქ. მცხეთა : საქპატენტი, პატენტის გამოქვეყ.თარიღი და ბიულეტენის ნომერი (45): 2013 01 25 #2.
- გამოგონებაზე პატენტის სრული ტექსტი - 17 გვ. ; მუხლები: 1 დამოუკიდებელი; ფიგურა: 14.
- პატენტის სრული აღწერილობისა და ტექსტის მოსანახად ქართულ ენაზე დააწკაპეთ მარჯვენა მხარეს ბმულზე „სხვა ძიებები“ და შემდეგ საქპატენტის შესაბამის ბმულზე.
ხერხი ითვალისწინებს III-V ჯგუფის ნახევარგამტარის ზედაპირის ელექტროქიმიურ გასუფთავებასა და გასუფთავებულ ზედაპირზე III ჯგუფის ლითონის ელექტროქიმიურ დაფენას ერთიან ტექნოლოგიურ პროცესში. მიღებულ ლითონ/ნახევარგამტარის სტრუქტურას თერმულად ამუშავებენ მაღალი სისუფთავის აღმდგენელი ან ინერტული გაზის ატმოსფეროში.