AIIIBV სახის ნახევარგამტარზე ომური კონტაქტის შექმნის ხერხი = Method for Production of Ohmic Contacts on III-V (compound) Semiconductors : გამოგონების პატენტი = Patent for invention : (11) GE P 1997 762 B : (51) H 01 L 21/28 (IPC, 2006) / ელეონორა გრძელიშვილი. - ქ. მცხეთა : საქპატენტი, პატენტის გამოქვეყ.თარიღი და ბიულეტენის ნომერი (45): 1997 01 03 #3. - გამოგონებაზე პატენტის სრული ტექსტი - 2 გვ. ;

- პატენტის სრული აღწერილობისა და ტექსტის მოსანახად ქართულ ენაზე დააწკაპეთ მარჯვენა მხარეს ბმულზე „სხვა ძიებები“ და შემდეგ საქპატენტის შესაბამის ბმულზე.

გამოგონება განეკუთვნება ნახევარგამტარიან ხელსაწყოთმშენებლობას და შეიძლება გამოყენებულ იქნეს A B სახის ნახევარგამტარის საფუძველზე ხელსაწყოების დამზადების ტექნოლოგიაში.
გამოგონების ტექნიკური შედეგია ომური კონტაქტის გამოსავლიანობის გაზრდა, მათი ხვედრითი წინააღმდეგობის შემცირება და გამტარების თერმოკომპრესული და ულტრაბგერითი მიერთების უნარის გაუმჯობესება.
ხერხი ითვალისწინებს A B სახის ნახევარგამტარის ფირფიტის ქიმიურ დამუშავებას, მის ზედაპირზე სილიციუმის დიოქსდის დაფრქვევით და ფოტოლითოგრაგიით ნიღბის შექმნას, გახსნილ ფანჯრებში პალადიუმის, ნიკელის, ოქროსა და კალის დალექვას, თერმოდამუშავებას და ნიკელის მეორე ფენის დალექვას.


762 ge B 1997-03-01 published Sakpatenti

ნახევარგამტარიანი ხელსაწყოთმშენებლობა ომური კონტაქტი დამზადების ხერხი