სახაროვა, ტატიანა. <br/><br/>
ფოტოლიტოგრაფიული პროცესების დამუშავება გალიუმის არსენადის საფუძველზე ნახევარგამტარული ხელსაწყოებისა და ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგიაში :   ავტორეფ... ტექნ. მეცნ. კანდ. 05.27.01 / 
ტატიანა სახაროვა ; საქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტი ; [სამეცნ. ხელმძღვანელი: ნინა ხუჭუა]. 
 - თბილისი,  2006. 
 - 34 გვ. :  ილ. 
<br/><br/><br/>ტექსტი ქართულ რუსულ  ენებზე 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>ფოტოლიტოგრაფიული პროცესები ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგია ნახევარგამტარული ხელსაწყოების დამზადების ტექნოლოგია გალიუმის არსენადი ავტორეფერატი 
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>	621.383.434(043)