TY  - BOOK
AU  - სახაროვა, ტატიანა.
AU  - ხუჭუა, ნინა
ED  - საქართველოს ტექნიკური უნივერსიტეტი
TI  - ფოტოლიტოგრაფიული პროცესების დამუშავება გალიუმის არსენადის საფუძველზე ნახევარგამტარული ხელსაწყოებისა და ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგიაში: ავტორეფ... ტექნ. მეცნ. კანდ. 05.27.01 
PY  - 2006///
CY  - თბილისი
KW  - ფოტოლიტოგრაფიული პროცესები
KW  - ინტეგრალური სქემების დამზადების ტექნოლოგია
KW  -  ნახევარგამტარული ხელსაწყოების დამზადების ტექნოლოგია
KW  - გალიუმის არსენადი
KW  - ავტორეფერატი
ER  -