Анохин, Валентин Захарович <br/><br/>
Кинетика и механизм термического окисления кремния /  
В. З. Анохин.  
 - Воронеж :   Изд-во Воронеж. ун-та,   1983.  
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>546.28.04