TY  - BOOK
AU  - Вершинин, Олег Емельянович
TI  - Автоматизация технологических процессов производства микроэлектронной аппаратуры: Учеб. пособие 
PY  - 1978///.
CY  - Ленинград : 
PB  - ЛЭТИ, 
KW  -  ავტომატიზაცია
KW  - წარმოების ავტომატიზაცია
KW  - ავტომატური მოწყობილობები
ER  -