Serre, Brigitte Étude et synthèse de résines positives sensibles aux électrons et aux rayons X utilisées dans les procédés de microlithographie / [par] Brigitte Serre. - [Montpellier, 1984]. Subjects--Index Terms: ქიმია ფიზიკური ქიმია მიკროლითოგრაფია პოლიმერები თეზისები დისერტაციები