TY  - BOOK
AU  - Serre, Brigitte 
TI  - Étude et synthèse de résines positives sensibles aux électrons et aux rayons X utilisées dans les procédés de microlithographie / 
PY  - 1984///]
CY  - [Montpellier, 
KW  - ქიმია
KW  - ფიზიკური ქიმია
KW  - მიკროლითოგრაფია
KW  - პოლიმერები
KW  - თეზისები
KW  - დისერტაციები
ER  -