TY  - BOOK
AU  - Свиташев,  К.К. 
ED  - АН СССР Сибирское отделеные. инстю физики полупроводников.
TI  - Основы эллипсометрии / 
PY  - 1979///
CY  - Новосибирск : 
PB  - Наука. Сиб. отд-ние, 
KW  - ელიფსომეტრია
N1  - библ. 375-419 с
ER  -