TY  - BOOK
TI  - Sputtering by particle bombardment: Vol. 2 : Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography / 
SN  - 0387125930 (v. 2 : U. S.)
PY  - 1983///
CY  - Berlin, New York
PB  - Springer-Verlag
KW  - ფიზიკა
KW  - გამოყენებითი ფიზიკა
KW  - ზედაპირები (ფიზიკა)
KW  - რადიაციის გავლენა
ER  -